Да, были. Названия уже не помню, но в силиконе в свое время ввпускались как миримум forth, lisp, java как system-on-chip.
Имеет ли смысл разрабатывать? Думайте сами. Ну, все предыддущие разработки почили в бозе по разным причинам. Но основных две: как исправлять ошибки в силиконе? Как развивать язык в силиконе?
Собственно, пока единственная из виртуалок в силиконе на текущий момент - JME (java micro edition), работает в смарткартах.