У обычных дискретных транзисторов нет одного точного «техпроцесса в нанометрах», как у процессоров.
Если сильно упростить, размеры элементов внутри транзистора обычно находятся примерно в диапазоне от 500 до 10 000 нм. У силовых MOSFET и IGBT они чаще составляют несколько микрометров, хотя отдельные слои могут быть намного тоньше.
Так что 500–1000 нм — вполне реальная величина для отдельных частей транзистора, но не для всего кристалла целиком. А SMD это или обычный выводной корпус — на размер внутренних элементов почти не влияет.