Где можно узнать о том, как создают литографическое оборудование?

Question

[snack150]

Доброго времени суток HABR! Недавно меня заинтересовал процесс разработки и создания литографов. Немного погуглив я так и не нашел инфоомации о том, как литографы проектируются, создаются и тестируются, вот и решил спросить у местных товарищей: где можно узнать о том, как создают литографы? Какие книги посвящены этому? Где так же можно почитать про полный цикл создания этих чудо-машин?

Comments

[Василий Банников]

Думаю, вас интересует в основном часть, которая связана с оптикой, ибо всё остальное - это вполне обычные железки.

как литографы проектируются

Вроде как есть готовый софт для моделирования оптики, но очень вероятно, что у каждого производителя есть свои наработки.

создаются

Как и любое другое оборудование - каждая деталь имеет свой техпроцесс для производства, а потом финальная сборка.
В случае оптики смотри, как изготавливаются линзы и зеркала (в частности - для ультрафиолета и рентгена, если смотреть на современные техпроцессы)
Остальное вроде как уже не особо "инопланетное". Просто в среднем более высокая точность изготовления, контроль качества, сборка в чистой комнате.

тестируются

Собственно запускаешь и смотришь на результат, сравниваешь результат с тем, что было смоделировано.

где можно узнать о том, как создают литографы?

Скорее всего тут стоит пойти в университет по направлению что-то типа "Оптические технологии и материалы" и что-нибудь про приборостроение.

[snack150]

Василий Банников, спасибо большое товарищ!

[Viktor T2]

На хабре есть поиск - куча статей
https://habr.com/ru/search/?q=+EUV&target_type=pos...
под статьями есть тэги
https://habr.com/ru/search/?target_type=posts&orde...

Answer 1

[Алексей Черемисин]

https://planeta.ru/campaigns/diyic?utm_referrer=ht...
https://habr.com/ru/companies/dcmiran/news/647367/