Где можно узнать о том, как создают литографическое оборудование?
Доброго времени суток HABR! Недавно меня заинтересовал процесс разработки и создания литографов. Немного погуглив я так и не нашел инфоомации о том, как литографы проектируются, создаются и тестируются, вот и решил спросить у местных товарищей: где можно узнать о том, как создают литографы? Какие книги посвящены этому? Где так же можно почитать про полный цикл создания этих чудо-машин?
Думаю, вас интересует в основном часть, которая связана с оптикой, ибо всё остальное - это вполне обычные железки.
как литографы проектируются
Вроде как есть готовый софт для моделирования оптики, но очень вероятно, что у каждого производителя есть свои наработки.
создаются
Как и любое другое оборудование - каждая деталь имеет свой техпроцесс для производства, а потом финальная сборка.
В случае оптики смотри, как изготавливаются линзы и зеркала (в частности - для ультрафиолета и рентгена, если смотреть на современные техпроцессы)
Остальное вроде как уже не особо "инопланетное". Просто в среднем более высокая точность изготовления, контроль качества, сборка в чистой комнате.
тестируются
Собственно запускаешь и смотришь на результат, сравниваешь результат с тем, что было смоделировано.
где можно узнать о том, как создают литографы?
Скорее всего тут стоит пойти в университет по направлению что-то типа "Оптические технологии и материалы" и что-нибудь про приборостроение.
