Две сотки даже штангенциркулем не получится измерить. Нутромеры микрометрические существуют, конечно, но проще наверное будет найти щупы с нужной точностью.
В принципе оптически контролировать идея неплохая, особенно если сделать стенд с работой на просвет. Матовая подложка, свет снизу, сверху шаблон с эталонными отверстиями, объектив для макросъемки, а потом снятую уже фотку на компе прогнать через opencv, или что-то самописное, измерить ширину просветов в эталоне и в образце в пикселях, и сравнить на какой процент они отличаются.
Но нужно будет этой камерой очень близко снимать, и делать много снимков - по краям будут большие искажения.