Как измерять толщину напыляемого покрытия в магнетроне?

Question

[Lici]

В процессе напыления в магнетроне нужно контролировать толщину покрытия - как это сделать?

Answer 1

[Vladimir]

а физические параметры никак не проконтролировать? :)

Comments

[Lici]

только толщина, параметры и без того контролирую нормально.

Answer 2

[i_andreev]

А чем плохи кварцевые толщиномеры?

Comments

[Lici]

да вот их и юзаем..

Answer 3

[begin_end]

В некоторых случаях помогает взвешивание.

Answer 4

[Ярослав Охты]

ВУП-3М лазерный толщиномер стоял, который измерял толщину по интерференции на стекле-"свидетеле".