Как так вариант «размером не приветствуется»?
«Главными характеристиками ЦПУ являются: тактовая частота, производительность, энергопотребление,
нормы литографического процесса используемого при производстве (для микропроцессоров) и архитектура.»
wiki; микро, нано это характеристики размерности литографии.
Я так понял, что вас интересует механизм используемый для вычислительных возможностей, тогда процессор — это транзисторы, микропроцессор — это транзисторы на графитовой подложке, нанопроцессор — это графеновые транзисторы, однако и там есть предел возможностей, для этого рекомендую ознакомиться с понятием
Half Shrink
Для увеличения вычислительной мощности скорее всего нужно смотреть в сторону квантовых вычислительных систем.