1-е
Оживить Excel (т.е. избавить его от зависания) Вы можете путем добавления перед каждой инструкцией "next ..." команды "DoEvents". Но хочу предупредить, что это увеличит общее время выполнения всего кода, т.е. эта команда заставляет Excel останавливать Ваш код и обрабатывать действия пользователя или системные, которые к этому моменту накопились.
Пример

...
    DoEvents
next x
...

2-е
Вам надо избавиться от частого обращения к ячейкам. Это делается путем копирования всего дампа данных за один раз.

вместо
    For i = 1 To rows
        arrStreet(i - 1) = Cells(i, 71)
        arrHouse(i - 1) = Cells(i, 15)
        arrCampus(i - 1) = Cells(i, 34)
    Next i

Используем
        'таким образом мы убираем цикл длиной в 180к *3 обращений к листу
        ' если протестировать затраты времени только на этом участке, экономия будет колоссальная
        arrStreet = range(Cells(1, 71), Cells(rows, 71))
        arrHouse = range(Cells(1, 15), Cells(rows, 15))
        arrCampus = range(Cells(1, 34), Cells(rows, 34))
        
       ' Но т.к. теперь мы имеем 2х мерные массивы, их надо обратить в одномерные, т.к. последующий код использует одномерные.
       arrStreet = WorksheetFunction.Transpose(arrStreet)
       arrHouse = WorksheetFunction.Transpose(arrHouse )
       arrCampus = WorksheetFunction.Transpose(arrCampus )

3-е
Далее по коду идут постоянные обращения к ячейкам внутри вложенных циклов


В общем надо проанализировать алгоритм и убрать все циклические обращения к ячейкам. Заменить их обращениями к массивам, которые предварительно будут заполнены копированием дампов (как показано выше).
Далее (возможно?!, если позволит алгоритм) уменьшить количество циклов за счет сортировки исходных данных и бинарного поиска по массивам.
Для справки: Бинарный поиск находит данные примерно за 7-8 обращений к массиву, тогда как простой перебор (который организован у Вас) делает в худшем случае 180к обращений.

Здесь есть простор для оптимизации.
И сделайте бэкап перед редактированием.

Скорее всего не полностью переведена тема , которую Вы используете
тут есть несколько вариантов
Для создания или изменения перевода:
использовать программу переводов POEdit
использовать плагин Loco Translate/ После сохранения перевода, плагин можно удалить.