если размер одинаковый, то:
1. Копируем таблицу разделов через sfdisk
2. Создаем новый RAID1 через mdadm
3. Копируем ФС со старого RAID на новый через partclone
4. Монтируем новый RAID куда-нибудь в /newraid
5. Монтируем туда /dev, /proc, /sys
6. Делаем туда chroot
7. Делаем grub-install, в качестве цели указываем новые диски
если размер разный, то либо уменьшаем исходный через tune2fs до минимума, затем partclone, или пользуемся rsync с ключом -a, иначе не скопируется acl и xattr