Где задается максимальное количество процессов?
Опция
ServerLimit
в конфиге апача.
И как понять какие из процессов являются зомби?
ps aux | grep apache
PROCESS STATE CODES
Here are the different values that the s, stat and state output specifiers (header "STAT" or "S") will display
to describe the state of a process.
D Uninterruptible sleep (usually IO)
R Running or runnable (on run queue)
S Interruptible sleep (waiting for an event to complete)
T Stopped, either by a job control signal or because it is being traced.
W paging (not valid since the 2.6.xx kernel)
X dead (should never be seen)
Z Defunct ("zombie") process, terminated but not reaped by its parent.
И на выполнение чего они застряли?
Тут сложнее, либо strace, но можно для начала глянуть в server_status
