В общем сам нашел.
Устанавливаем Arduino (легче использовать его программатор, размер скетча от этого не увеличится)
MakeFile будет такого вида:
DEVICE = attiny13
CLOCK = 9600000
PROGRAMMER = -c stk500v1 -P /dev/cu.wchusbserial1410 -b 19200
OBJECTS = main.o
FUSES = -U hfuse:w:0xFE:m -U lfuse:w:0x6A:m
DUDE = /Applications/Arduino.app/Contents/Java/hardware/tools/avr/bin/avrdude
CONF = /Applications/Arduino.app/Contents/Java/hardware/tools/avr/etc/avrdude.conf
AVRDUDE = $(DUDE) -C $(CONF) -v -p $(DEVICE) $(PROGRAMMER)
COMPILE = avr-gcc -Wall -Os -DF_CPU=$(CLOCK) -mmcu=$(DEVICE)
...
Все шьется на ура.