/proc виртуальная ФС и физически на диске ничего не занимает. Узнайте чем реально занято место.
Выполните команду
du -sh ./* | sort -h
Перейдите в самый толстый каталог и повторяйте данную команду пока не найдете переполненный каталог.
Вероятнее всего переполнение в /var/log