1) Узнать
какая программа блокирует ваши файлы (unlocker-ом например)
2.1) Если это написанная вами программа, то найти места, где не закрываются операции чтения/записи
2.2) Если это чужая программа, то попробовать её закрыть через taskkill (либо говорить пользователю, чтобы он сам закрывал)
2.3) Если это ваша программа и вы пытаетесь
её-же удалить, то это делается так:
https://www.codeproject.com/Articles/31454/How-To-...
3) Можно распаковывать в папку Temp и забить на удаление :)